国内首条12英寸先进传感器研发中试线成功通线[CSIA]_江城足球网
 
 
国内首条12英寸先进传感器研发中试线成功通线
更新时间:2021/7/2 14:08:44  
【字体: 】        

6月30日,由国家智能传感器创新中心(简称“创新中心”)建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线。该中试线以国产设备为主,具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力,同时为国产装备提供验证平台,加速先进传感器产业链国产化,实现自主可控。
  
  面向新兴技术发展和市场应用需求,创新中心将在12英寸中试线持续开发新材料、新工艺、新器件和新集成等关键共性技术,重点突破光学、声学、力学、生物等先进传感器的核心工艺,并推动相关产品及应用的产业化。
  
  12英寸中试线位于上海智能传感器产业园内,产业园以智能传感器为核心,以创新平台和龙头企业为支撑,伴有精准的政策助力,发展传感器特色工艺,积极培育和引进领先的智能传感器产业链领军企业,促进产业集聚和协同发展,力争将上海嘉定打造成国内传感器领域产业高地。
  
  国家智能传感器创新中心致力于先进传感器技术创新,以关键共性技术的研发和中试为目标,联合中国传感器与物联网产业联盟1000+家产业链各领域的代表企业开展共性技术研发,形成“产、学、研、用”协同创新机制,加速我国先进传感器及其相关应用的核心技术发展,推动智能传感、物联网、人工智能的生态体系建设。
  
 
来源:国家智能传感器创新中心        
 
  • 上一篇: 联发科发布天玑 5G 开放架构 新品7月上市
  • 下一篇: 中国科大实现迄今最快的实时量子随机数发生器
  •   打印此文  收藏此页  关闭窗口  返回顶部      
     
    热点文章>>


       
    相关文章>>